透镜的研发成功只是第一步。光
刻机的制造难度极大,但主要的拦路虎一共有四条。第
一是制造精度要求极高,一台光刻机数万个零件,要求的制造精度最少也是微米级,绝大多数精密部件要求精度达到亚微米级,极少数超高精密零部件的加工精度需要达到100纳米~200纳米。这
样高的精度,以国内现行的加工技术,根本做不到。人
力有时而穷,明每前进一步,都艰辛无比。但
白云天不同。
他就如同开了全图的玩家,一落地,就对四面八方的道路有着完整的认知,绝对不会走错。决
定他前进速度的,从来不是寻路的过程,而是有着怎样的交通工具。
他可以一直走在正确的道路上,偶尔步入一个岔路,在地上捡到一点不知道谁丢的钱。随后,他就可以用这钱去买一辆自行车,在接下来的路上骑得更快、更轻松,还有空看看美丽的风景。
光刻机的制造就是这样。其
他光刻机巨头,需要投入重金,请最优秀的研发人员,用最好的研发设备,潜心研究数年,中途还要用利益跟其他人交换技术,才能艰难地前行一步。
然而白云天不需要。他
在一开始,就清楚地知道自己在做什么样的东西,如何去做。
只要自己的技术够了,不需要试多少次,就能将东西做出来。这
对这时代的其他科研人员是不公平的。但
这世界,从来没有公平!
落后就要挨打,这是永世不变的至理箴言!
白云天从来不需要顾虑他人的感受,他只是根据自己的目标,坚定地走在自己的路上。
透镜、工作台很容易就做了出来。
并且他还根据后世设计,对工作台做了巨大改动,将惯常的一个工作台,改为了双工作台。当
一个工作台正在进行光刻工序时,另一个工作台则提前进行晶圆片更换、定位、微调、测量等前序工作。当那一个工作台完成光刻,两个工作台换位,立即就能进行下一道光刻工序,极大地提升了光刻效率。
光源部分,是唯一没有自造的。毕
竟汞灯只是光刻机光源,波长统一为365纳米,其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多,全面禁止对华出口的难度较大,很容易买到。白
云天为了省事,也就没自造,而是通过国内,直接购买了一套。
但是他还是做了小幅改进。就
是用将目镜浸入纯净液体中的方式,对光束波长进行一定幅度的折射,从而达到聚焦效果。
在后世,这叫浸入式光源。
现在各大光科技厂商正在就此技术,进行实验室研究阶段,尚未投入实用。既
然白云天手里有完整的技术,浸入式光源又能小幅改进光源聚焦,那又为何不用?实
际使用效果很好。
采用了浸入式光源技术以后,364纳米的光束波长被约束到了312纳米!
比之英特尔使用的350纳米技术,提升了近40纳米!
在白云天的亲自指导监督下,有李莲、华新等人直接领导,光刻机的制造进度快得惊人,透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点,一一被轻松攻克。经
过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺,一台双工位,最大晶元刻蚀尺寸为200mm的光刻机就顺利建造完成,顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。
“这就做好了?”当
最后一块挡板合上,螺丝拧紧,对光刻机通电系统测试通过,白云天宣布光刻机研发成功,其他人还是不敢相信这个事实,不由窃窃私语。连
下料到解决一个个技术问题,制作出子系统,再到总装,两个月就做出一台这时代最先进的光刻机……
这可能吗?就
算国内光刻机厂家,有现成图纸、熟练工,做一台出来也不止这点时间吧。“
行不行咱们试试不就知道了。”白云天看着众人表情,笑了笑没有解释。有
他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与
第四百九十六章 此生无憾(1/2),点击下一页继续。
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